Leave Your Message
gzhWechat OA
bjhBaijia Hao
6503fd048f54d46697
Hệ thống lắng đọng nguyên tử ALD

Hệ thống lắng đọng nguyên tử ALD

Danh mục mô-đun
Hệ thống lắng đọng nguyên tử ALD

Hệ thống lắng đọng nguyên tử ALD

2024-11-15

Phương pháp lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) là một kỹ thuật chế tạo màng mỏng phát triển từng lớp ở cấp độ nguyên tử. Quá trình phát triển ALD lý tưởng bao gồm việc lựa chọn xen kẽ và chiếu xạ các tiền chất khác nhau lên bề mặt chất nền, nơi chúng hấp thụ và phản ứng hóa học để tạo thành các màng mỏng được lắng đọng. Một chu kỳ phát triển ALD hoàn chỉnh có thể là ......

xem chi tiết